反応性プラズマの制御
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Bibliographic Record
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- Material Type
- 文書・図像類
- Title
- Author/Editor
- 後藤, 俊夫河野, 明宏岸本, 茂平松, 美根男廣田, 榮治山田, 千樫
- Publication Date
- 1992
- Publication Date (W3CDTF)
- 1992
- Text Language Code
- eng
- Target Audience
- 一般
- Note (General)
- 科学研究費補助金 研究種目:重点領域研究032 課題番号:1990年度・63632006, 1991年度・01632006, 1992年度・02214105 研究代表者:後藤俊夫 研究期間:1990年~1992年度(当データは1992年度,報告番号02214105のもの)
- Format (IMT)
- application/pdf