球面収差補正用薄膜レンズを用いた走査透過電子顕微鏡の高分解能化に関する研究

• Material Type: 文書・図像類
• Title: 球面収差補正用薄膜レンズを用いた走査透過電子顕微鏡の高分解能化に関する研究
• Author/Editor: 日比野, 倫夫; 花井, 孝明; 杉山, せつ子; 下山, 宏
• Author Heading: 日比野, 倫夫; 花井, 孝明; 杉山, せつ子; 下山, 宏
• Publication Date: 1988-03
• Publication Date (W3CDTF): 1988-03
• Text Language Code: jpn
• Subject Heading: 電子レンズ; 走査透過電子顕微鏡(STEM); 薄膜レンズ; 球面収差; Electron lens; SN比; Foil Lend; 分解能; Recolution; 球面収差補正; Scanning Transmission Election Microscopy (STEM); 電子プローブ; Shperical aberration; 収差補正; Correction; Electron Probe
• Target Audience: 一般
• Note (General): 科学研究費補助金 研究種目:試験研究 課題番号:61850069 研究代表者:日比野 倫夫 研究期間:1986-1987年度
• Format (IMT): application/pdf
• Source: 61850069.pdf （fulltext）; https://nagoya.repo.nii.ac.jp/record/11067/files/61850069.pdf
• Access Restrictions: インターネット公開
• Data Provider (Database): 国立情報学研究所 : 学術機関リポジトリデータベース（IRDB）（機関リポジトリ）; https://irdb.nii.ac.jp
• Original Data Provider (Database): 名古屋大学 : 名古屋大学学術機関リポジトリ

• Summary, etc.: 電子レンズの球面を補正する薄膜レンズを用いて, 走査透過電子顕微鏡(STEM)の分解能の向上を目指した研究を行い, 次の成果を得た. 1.薄膜レンズの寿命を決める要因である電子線照射による薄膜の汚染を軽減するため, STEMの真空排気系の改造を行った結果, 50時間程度の連続使用によっても顕著な汚染...