表面進行波を利用した極微細線加工法に関する基礎的研究

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Note (General)：: 科学研究費補助金研究種目:一般研究(C) 課題番号:62550093 研究代表者:森敏彦研究期間:1987-1988年度

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Summary, etc.：: 1.進行波励振法の確立引抜きダイス上での進行波伝播は以下にようにして行った。高周波電力で圧電振動子を機械振動し、それをホ-ンで増幅し、ダイス前面を励振する。ダイス内を前面から後面へ伝播した振動を継続的に後面へ進行させるためには後面に励振と同様の組合わせであるホ-ン、圧電振動子を接続し、振動子で機械...

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Material Type: 文書・図像類
Title: 表面進行波を利用した極微細線加工法に関する基礎的研究
Author/Editor: 森, 敏彦
妹尾, 允史
Author Heading: 森, 敏彦
妹尾, 允史
Publication Date: 1989-03
Publication Date (W3CDTF): 1989-03
Text Language Code: jpn
Subject Heading: 表面進行波
引抜き
インピ-ダンス整合
微細線加工
超音波
レーリー波
Layleigh wave
Impedance matching
Drawing
極微細線加工
Target Audience: 一般
Note (General): 科学研究費補助金研究種目:一般研究(C) 課題番号:62550093 研究代表者:森敏彦研究期間:1987-1988年度
Format (IMT): application/pdf
Source: 62550093.pdf （fulltext）
https://nagoya.repo.nii.ac.jp/record/11070/files/62550093.pdf
Access Restrictions: インターネット公開
Data Provider (Database): 国立情報学研究所 : 学術機関リポジトリデータベース（IRDB）（機関リポジトリ）
https://irdb.nii.ac.jp
Original Data Provider (Database): 名古屋大学 : 名古屋大学学術機関リポジトリ