半導体の電子線照射効果の理論的及び実験的研究

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Material Type: 博士論文
Title: 半導体の電子線照射効果の理論的及び実験的研究
Author/Editor: 安田, 匡一郎
Author Heading: 安田, 匡一郎
Alternative Title: ハンドウタイ　ノ　デンシセン　ショウシャ　コウカ　ノ　リロンテキ　オヨビ　ジッケンテキ　ケンキュウ
Degree grantor/type: 名古屋工業大学
Date Granted: 1994-03-16
Dissertation Number: 乙第65号
Degree Type: 博士(工学)
Text Language Code: jpn
Subject Heading: 半導体
電子照射
Si
電子ビームドーピング
Target Audience: 一般
Note (General): 主査：和田　隆夫
Format (IMT): application/pdf
Source: comment：fulltext
https://nitech.repo.nii.ac.jp/?action=repository_action_common_download&item_id=2773&item_no=1&attribute_id=13&file_no=1
Access Restrictions: インターネット公開
Data Provider (Database): 国立情報学研究所 : 学術機関リポジトリデータベース（IRDB）（機関リポジトリ）
https://irdb.nii.ac.jp
Original Data Provider (Database): 名古屋工業大学 : 名古屋工業大学学術機関リポジトリ