シリコンULSIのための薄膜微細配線及び電極に関する研究

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Material Type: 博士論文
Title: シリコンULSIのための薄膜微細配線及び電極に関する研究
Author/Editor: 柴田, 英毅
Author Heading: 柴田, 英毅
Alternative Title: シリコン　ULSI　ノ　タメノ　ハクマク　ビサイ　ハイセン　オヨビ　デンキョク　ニカンスル　ケンキュウ
Degree grantor/type: 名古屋工業大学
Date Granted: 1995-03-16
Dissertation Number: 乙第80号
Degree Type: 博士(工学)
Text Language Code: jpn
Subject Heading: 多結晶シリコン高抵抗素子
SRAM
ULSI
エレクトロマイグレーション
Al配線間道微細接援孔
Target Audience: 一般
Note (General): 主査：佐治　學
Format (IMT): application/pdf
Source: fulltext
https://nitech.repo.nii.ac.jp/?action=repository_action_common_download&item_id=2778&item_no=1&attribute_id=13&file_no=1
Access Restrictions: インターネット公開
Data Provider (Database): 国立情報学研究所 : 学術機関リポジトリデータベース（IRDB）（機関リポジトリ）
https://irdb.nii.ac.jp
Original Data Provider (Database): 名古屋工業大学 : 名古屋工業大学学術機関リポジトリ