平衡状態に基づくトップダウン法による特異構造の創製

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Note (General)：: application/pdf2016年度～2020年度科学研究費補助金(新学術領域研究(研究領域提案型))研究成果報告書16H06415

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Summary, etc.：: 特異構造の結晶成長，結晶制御を実験的視点と理論的視点から深化する科学と，その応用としてエレクトロニクス展開を目指している研究を行った。 2次元特異構造としての高品質なAlN膜をサファイア基板上で作製する技術は極めて重要であるが、サファイア基板上のAlN膜には高密度の貫通転位が存在する。スパッタ法Al...

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Material Type: 文書・図像類
Title: 平衡状態に基づくトップダウン法による特異構造の創製
Author/Editor: 三宅, 秀人
宮川, 鈴衣奈
荒木, 努
Author Heading: 三宅, 秀人ミヤケ, ヒデト
宮川, 鈴衣奈ミヤガワ, レイナ
荒木, 努アラキ, ツトム
Publication, Distribution, etc.: 三重大学
Publication Date: 2021-07-04
Publication Date (W3CDTF): 2021-07-04
Alternative Title: Creation of singularity structure by top-down method based on thermal equiburium condition
Text Language Code: jpn
Subject Heading: 窒化物半導体
高温アニール
窒化アルミニウム
AlN
AlGaN
深紫外LED
Target Audience: 一般
Note (General): application/pdf
2016年度～2020年度科学研究費補助金(新学術領域研究(研究領域提案型))研究成果報告書
16H06415
Access Restrictions: 限定公開
Data Provider (Database): 国立情報学研究所 : 学術機関リポジトリデータベース（IRDB）（機関リポジトリ）
https://irdb.nii.ac.jp
Original Data Provider (Database): 三重大学 : 三重大学学術機関リポジトリ研究成果コレクション