大型電子デバイスプロセス用マイクロ波プラズマ源の開発に関する研究

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Summary, etc.：: LSI(Large Scale Integration)などの半導体デバイスや液晶ディスプレイ(TFT-LCD:Thin Film Transistor-Liquid Crystal Display)をはじめとする電子デバイスは、我々の生活においてさまざまな工業製品に広く使われており必要不可欠なもの...

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Material Type: 博士論文
Title: 大型電子デバイスプロセス用マイクロ波プラズマ源の開発に関する研究
Author/Editor: 青木, 克明
Author Heading: 青木, 克明
Publication Date: 2001-01-01
Publication Date (W3CDTF): 2001-01-01
Pages: 1-160
Degree grantor/type: 明治大学
Date Granted: 2002-03-26
Dissertation Number: 甲251
Degree Type: 博士(工学)(課程)
Text Language Code: jpn
Subject Heading: プラズマ
エッチング
アッシング
半導体
液晶パネル
Target Audience: 一般
Note (General): Article
2001
Access Restrictions: インターネット公開
Data Provider (Database): 国立情報学研究所 : 学術機関リポジトリデータベース（IRDB）（機関リポジトリ）
https://irdb.nii.ac.jp
Original Data Provider (Database): 明治大学 : 明治大学学術成果リポジトリ