FIB法と電解研磨法を併用した薄膜試料のダメージ除去に関する実験的検証

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1.はじめに / 2.電解研磨法で制作した金属試料の未照射時および電子線放射後の微小欠陥観察について / 3.実験方法および実験条件 / 4.実験結果 / 5.考察・今後の課題

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Material Type: 文書・図像類
Title: FIB法と電解研磨法を併用した薄膜試料のダメージ除去に関する実験的検証
Author/Editor: 川口, 晃
Author Heading: 川口, 晃カワグチ, アキラ
Publication, Distribution, etc.: 九州大学応用力学研究所
Publication Date: 2015-09
Publication Date (W3CDTF): 2015-09
Periodical title: 九州大学応用力学研究所技術職員技術レポート
No. or year of volume/issue: 16
Volume: 16
Pages: 10-12
Text Language Code: jpn
Subject Heading: FIB
電解研磨
薄膜試料
透過型電子顕微鏡
TEM
Target Audience: 一般
Access Restrictions: 限定公開
Data Provider (Database): 国立情報学研究所 : 学術機関リポジトリデータベース（IRDB）（機関リポジトリ）
https://irdb.nii.ac.jp
Original Data Provider (Database): 九州大学 : 九州大学学術情報リポジトリ