産業応用VHFプラズマの２次元シミュレーション

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Material Type: 博士論文
Title: 産業応用VHFプラズマの２次元シミュレーション
Author/Editor: 蘇, 俐文
Author Heading: 蘇, 俐文
Publication Date: 2019-03-20
Publication Date (W3CDTF): 2019-03-20
Alternative Title: Two dimensional simulations of VHF plasmas for industrial applications
Contributor: 内野, 喜一郎
中島, 寛
林, 信哉
Degree grantor/type: 九州大学
Date Granted: 2019-03-20
Dissertation Number: 17102甲第14581号
Degree Type: 博士（工学）
DOCTOR OF ENGINEERING
Text Language Code: eng
Target Audience: 一般
Format (IMT): application/pdf
Access Restrictions: インターネット公開
Data Provider (Database): 国立情報学研究所 : 学術機関リポジトリデータベース（IRDB）（機関リポジトリ）
https://irdb.nii.ac.jp
Original Data Provider (Database): 九州大学 : 九州大学学術情報リポジトリ