チョクラルスキー法によって育成された低酸素濃度・窒素ドープシリコン単結晶の欠陥形成挙動に関する研究

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Material Type: 博士論文
Title: チョクラルスキー法によって育成された低酸素濃度・窒素ドープシリコン単結晶の欠陥形成挙動に関する研究
Author/Editor: 梶原, 薫
Author Heading: 梶原, 薫カジワラ, カオル
Publication Date: 2023-03-20
Publication Date (W3CDTF): 2023-03-20
Contributor: 西澤, 伸一
齋藤, 渉,
柿本, 浩一
Degree grantor/type: 九州大学
Date Granted: 2023-03-20
Dissertation Number: 17102甲第16616号
Degree Type: 博士（工学）
DOCTOR OF ENGINEERING
Text Language Code: jpn
Target Audience: 一般
Access Restrictions: インターネット公開
Data Provider (Database): 国立情報学研究所 : 学術機関リポジトリデータベース（IRDB）（機関リポジトリ）
https://irdb.nii.ac.jp
Original Data Provider (Database): 九州大学 : 九州大学学術情報リポジトリ