光誘起キャリアを用いるシリコン上への湿式法マスクレス金属パターニング

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Note (General)：: 平成14-16年度科学研究費補助金（基盤研究（B)(2)）研究成果報告書　課題番号：14350383　研究代表者：尾形幸生 (京都大学エネルギー理工学研究所教授）

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Material Type: 文書・図像類
Title: 光誘起キャリアを用いるシリコン上への湿式法マスクレス金属パターニング
Author/Editor: 尾形, 幸生
Author Heading: 尾形, 幸生
Publication, Distribution, etc.: 京都大学
Publication Date: 2005-03
Publication Date (W3CDTF): 2005-03
Text Language Code: jpn
Subject Heading: レーザー
置換めっき
電析
多孔質シリコン
光励起
パターニング
金属パターニング
Photo-excitation
Laser
Metal patterning
Electrodeposition
Porous silicon
Target Audience: 一般
Note (General): 平成14-16年度科学研究費補助金（基盤研究（B)(2)）研究成果報告書　課題番号：14350383　研究代表者：尾形幸生 (京都大学エネルギー理工学研究所教授）
Format (IMT): application/pdf
Source: d53.pdf （fulltext）
http://repository.kulib.kyoto-u.ac.jp/dspace/bitstream/2433/79587/1/d53.pdf
Access Restrictions: インターネット公開
Rights (production): p.9-122は学術雑誌掲載論文の抜き刷り、出版社に著作権許諾が得られていないため未掲載
Data Provider (Database): 国立情報学研究所 : 学術機関リポジトリデータベース（IRDB）（機関リポジトリ）
https://irdb.nii.ac.jp
Original Data Provider (Database): 京都大学 : 京都大学学術情報リポジトリ