高機能酸化物薄膜形成方法の研究

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Note (General)：: 平成12-13度科学研究費補助金(基盤研究(C))研究成果報告書　課題番号：12650697 研究代表者：松尾二郎 (京都大学大学院工学研究科附属イオン工学実験施設)

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Material Type: 文書・図像類
Title: 高機能酸化物薄膜形成方法の研究
Author/Editor: 松尾, 二郎
Author Heading: 松尾, 二郎
Publication, Distribution, etc.: 京都大学
Publication Date: 2002-03
Publication Date (W3CDTF): 2002-03
Text Language Code: jpn
Subject Heading: 多体衝突
薄膜
酸化
シミュレーション
イオン
酸化物
クラスター
機能性薄膜
酸化物薄膜
多体衝突効果
薄膜形成
酸素クラスター
高密度照射効果
酸化膜
oxidation
oxide
cluster
many-body collision
simulation
thin film
ion
Target Audience: 一般
Note (General): 平成12-13度科学研究費補助金(基盤研究(C))研究成果報告書　課題番号：12650697 研究代表者：松尾二郎 (京都大学大学院工学研究科附属イオン工学実験施設)
Format (IMT): application/pdf
Source: d451.pdf （fulltext）
http://repository.kulib.kyoto-u.ac.jp/dspace/bitstream/2433/84926/1/d451.pdf
Access Restrictions: インターネット公開
Data Provider (Database): 国立情報学研究所 : 学術機関リポジトリデータベース（IRDB）（機関リポジトリ）
https://irdb.nii.ac.jp
Original Data Provider (Database): 京都大学 : 京都大学学術情報リポジトリ