CZ-Si単結晶中の酸化物析出と酸化誘起積層欠陥に関する研究

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Material Type: 博士論文
Title: CZ-Si単結晶中の酸化物析出と酸化誘起積層欠陥に関する研究
Author/Editor: 末岡, 浩治
Author Heading: 末岡, 浩治
Publication, Distribution, etc.: 京都大学
Publication Date: 1997-07-23
Publication Date (W3CDTF): 1997-07-23
Contributor: 万波, 通彦
大谷, 隆一
山口, 正治
Degree grantor/type: 京都大学
Date Granted: 1997-07-23
Dissertation Number: 乙第9662号
Degree Type: 博士(工学)
Doctor of Engineering
Text Language Code: jpn
Alias of Author: スエオカ, コウジ
NDC: 500
Target Audience: 一般
Note (General): 本文データは平成22年度国立国会図書館の学位論文(博士)のデジタル化実施により作成された画像ファイルを基にpdf変換したものである
DOI: 10.11501/3128560
Format (IMT): application/pdf
Source: D_Sueoka_Koji.pdf （fulltext）
http://repository.kulib.kyoto-u.ac.jp/dspace/bitstream/2433/157017/2/D_Sueoka_Koji.pdf
Access Restrictions: インターネット公開
Data Provider (Database): 国立情報学研究所 : 学術機関リポジトリデータベース（IRDB）（機関リポジトリ）
https://irdb.nii.ac.jp
Original Data Provider (Database): 京都大学 : 京都大学学術情報リポジトリ