高機能集積センサ実現に向けたワイドギャップ半導体MEMSおよび光検出器の基礎研究

Name of awarding university/degree: 京都大学,博士(工学),Doctor of Philosophy (Engineering)

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Material Type: 博士論文
Title: 高機能集積センサ実現に向けたワイドギャップ半導体MEMSおよび光検出器の基礎研究
Author/Editor: Watanabe, Naoki
Author Heading: Watanabe, Naoki
Publication, Distribution, etc.: 京都大学 (Kyoto University)
Publication Date: 2013-03-25
Publication Date (W3CDTF): 2013-03-25
Alternative Title: Fundamental Study on Wide-Bandgap-Semiconductor MEMS and Photodetectors for Integrated Smart Sensors
Contributor: 木本, 恒暢
川上, 養一
後藤, 康仁
Degree grantor/type: 京都大学
Date Granted: 2013-03-25
Dissertation Number: 甲第17578号
Degree Type: 博士(工学)
Doctor of Philosophy (Engineering)
Text Language Code: eng
Alias of Author: 渡辺, 直樹
ワタナベ, ナオキ
Subject Heading: SiC
GaN
AlN
photodetector
integrated sensor
high temperature
refractive index
adsorption coefficient
NDC: 500
Target Audience: 一般
DOI: 10.14989/doctor.k17578
Format (IMT): application/pdf
Access Restrictions: インターネット公開
Data Provider (Database): 国立情報学研究所 : 学術機関リポジトリデータベース（IRDB）（機関リポジトリ）
https://irdb.nii.ac.jp
Original Data Provider (Database): 京都大学 : 京都大学学術情報リポジトリ