選択横方向成長を用いた低転位厚膜アルファ酸化ガリウムの成長に関する研究

Name of awarding university/degree: 京都大学,博士(工学),Doctor of Philosophy (Engineering)

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Material Type: 博士論文
Title: 選択横方向成長を用いた低転位厚膜アルファ酸化ガリウムの成長に関する研究
Author/Editor: 河原, 克明
Author Heading: 河原, 克明カワラ, カツアキ
Publication, Distribution, etc.: Kyoto University
Publication Date: 2021-03-23
Publication Date (W3CDTF): 2021-03-23
Contributor: 藤田, 静雄
川上, 養一
木本, 恒暢
Degree grantor/type: 京都大学
Date Granted: 2021-03-23
Dissertation Number: 甲第23209号
Degree Type: 博士(工学)
Doctor of Philosophy (Engineering)
Text Language Code: jpn
Subject Heading: α-Ga2O3
選択横方向成長
二重選択横方向成長
貫通転位
エッチング
NDC: 500
Target Audience: 一般
DOI: 10.14989/doctor.k23209
Access Restrictions: インターネット公開
Rights (production): 学位規則第9条第2項により要約公開
許諾条件により要約は2022-03-22に公開
Data Provider (Database): 国立情報学研究所 : 学術機関リポジトリデータベース（IRDB）（機関リポジトリ）
https://irdb.nii.ac.jp
Original Data Provider (Database): 京都大学 : 京都大学学術情報リポジトリ