サーファクタントを用いた貴金属スパッタ薄膜の構造制御

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Note (General)：: application/pdf研究代表者阿部良夫 // 科学研究費補助金(基盤研究(C)(2))研究成果報告書 // 平成15-16年度 // 研究課題番号：15560268 // 資料ID:00008669768

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Material Type: 文書・図像類
Title: サーファクタントを用いた貴金属スパッタ薄膜の構造制御
Author/Editor: 阿部, 良夫
佐々木, 克孝
川村, みどり
Abe, Yoshio
Sasaki, Katsutaka
Kawamura, Midori
Author Heading: 阿部, 良夫
佐々木, 克孝
川村, みどり
Abe, Yoshio
Sasaki, Katsutaka
Kawamura, Midori
Publication, Distribution, etc.: 北見工業大学
Publication Date: 2005-03
Publication Date (W3CDTF): 2005-03
Text Language Code: jpn
Target Audience: 一般
Note (General): application/pdf
研究代表者阿部良夫 // 科学研究費補助金(基盤研究(C)(2))研究成果報告書 // 平成15-16年度 // 研究課題番号：15560268 // 資料ID:00008669768
Format (IMT): application/pdf
Source: サーファクタントを用いた貴金属スパッタ薄膜の構造制御（fulltext）
https://kitami-it.repo.nii.ac.jp/record/7447/files/8669768-0.pdf
Access Restrictions: インターネット公開
Data Provider (Database): 国立情報学研究所 : 学術機関リポジトリデータベース（IRDB）（機関リポジトリ）
https://irdb.nii.ac.jp
Original Data Provider (Database): 北見工業大学 : 北見工業大学学術機関リポジトリ　KIT-R