窒化タンタル陽極酸化膜による耐熱性に優れた薄膜コンデンサの作製

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Note (General)：: application/pdf研究代表者佐々木克孝 // 科学研究費補助金(基盤研究(B)(1))研究成果報告 // 平成7年度 // 研究課題番号：06555087 // 資料ID:00008626996

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Material Type: 文書・図像類
Title: 窒化タンタル陽極酸化膜による耐熱性に優れた薄膜コンデンサの作製
Author/Editor: 佐々木, 克孝
白重, 道弘
阿部, 良夫
土橋, 剛
野矢, 厚
Sasaki, Katsutaka
Shirashige, Michihiro
Abe, Yoshio
Dobashi, Tsuyoshi
Noya, Atsushi
Author Heading: 佐々木, 克孝
白重, 道弘
阿部, 良夫
土橋, 剛
野矢, 厚
Sasaki, Katsutaka
Shirashige, Michihiro
Abe, Yoshio
Dobashi, Tsuyoshi
Noya, Atsushi
Publication, Distribution, etc.: 北見工業大学
Publication Date: 1996-03
Publication Date (W3CDTF): 1996-03
Text Language Code: jpn
Target Audience: 一般
Note (General): application/pdf
研究代表者佐々木克孝 // 科学研究費補助金(基盤研究(B)(1))研究成果報告 // 平成7年度 // 研究課題番号：06555087 // 資料ID:00008626996
Format (IMT): application/pdf
Source: 窒化タンタル陽極酸化膜による耐熱性に優れた薄膜コンデンサの作製（fulltext）
https://kitami-it.repo.nii.ac.jp/record/7450/files/8626996-0.pdf
Access Restrictions: インターネット公開
Data Provider (Database): 国立情報学研究所 : 学術機関リポジトリデータベース（IRDB）（機関リポジトリ）
https://irdb.nii.ac.jp
Original Data Provider (Database): 北見工業大学 : 北見工業大学学術機関リポジトリ　KIT-R