ヘテロエピタキシャル表面での吸着結晶形態の自己組織化

Material type: 文書・図像類

Author: 齋藤, 幸夫

Publisher: -

Publication date: 2013

Material Format: Digital

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Note (General)：: type:textヘテロエピタキシャル系では基板とその上に成長する結晶が異なる。両者の格子定数の違いから生じる歪みエネルギーの効果を低減するために、基板を微細加工することがある。このとき、吸着結晶が基板柱列上の非対称な位置に配列することや濡れが途中で止まるなど、液体の濡れとは異なる現象を示すことを見...

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科研費研究者番号 : 20162240

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Material Type: 文書・図像類
Title: ヘテロエピタキシャル表面での吸着結晶形態の自己組織化
Author/Editor: 齋藤, 幸夫
Author Heading: 齋藤, 幸夫
Publication Date: 2013
Publication Date (W3CDTF): 2013
Alternative Title: ヘテロエピタキシャルヒョウメンデノキュウチャクケッショウケイタイノジコソシキカ
Heteroepitakisharu hyomen deno kyuchaku kessho keitai no jiko soshikika
Self-organization of adsorbate crystal morphology on a heteroepitaxial surface
Periodical title: 科学研究費補助金研究成果報告書
Text Language Code: jpn
Subject Heading: ヘテロエピタキシー,微細加工基板,格子歪み,濡れー脱濡れ,島拡散,ピン止め,結晶粒粗大化,動的モンテカルロ・シミュレーション
Target Audience: 一般
Note (General): type:text
ヘテロエピタキシャル系では基板とその上に成長する結晶が異なる。両者の格子定数の違いから生じる歪みエネルギーの効果を低減するために、基板を微細加工することがある。このとき、吸着結晶が基板柱列上の非対称な位置に配列することや濡れが途中で止まるなど、液体の濡れとは異なる現象を示すことを見出した。また、平坦なSiO2基板上でSi島が高温で蒸発するときに見られる島拡散では、拡散定数が島の大きさによらない。この異常拡散は化学反応で荒れたSi/SiO2界面の角にSi島の縁が引っかかったり、熱揺らぎで外れるために起きると解明した。そのほか、基板上で一方向成長する多結晶中の結晶粒の粗大化則を求めた。 In heteroepitaxial growth, materials of the substrate and of the overlayer crystal are different. In order to decrease the effect of strain energy induced by the lattice misfit, nanostructures are sometimes fabricated on a substrate. We found that the crystal dewetting is different from the liquid dewetting; for instance, an adsorbate crystal island arranges itself in an asymmetric position on a substrate pillar, or a crystal island collapses only partially. When Si islands evaporate on SiO2 substrate at high temperatures, they diffuse around with a diffusion constant almost independent of the island size. We attributed this anomalous diffusion to the pinning-depinning phenomenon of the island edge at rough corners of the Si/SiO2 interface produced by chemical reactions. We also studied scaling behavior of the grain coarsening during the unidirectional solidification of multicrystals on a substrate.
研究種目 : 基盤研究(C) 研究期間 : 2011～2013 課題番号 : 23540456 研究分野 : 数物系科学科研費の分科・細目 : 物理学・数理物理・物性基礎
Source: https://koara.lib.keio.ac.jp/xoonips/modules/xoonips/download.php?koara_id=KAKEN_23540456seika
https://koara.lib.keio.ac.jp/xoonips/modules/xoonips/download.php?koara_id=KAKEN_23540456seika
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Related Material: 科研費研究者番号 : 20162240
Data Provider (Database): 国立情報学研究所 : 学術機関リポジトリデータベース（IRDB）（機関リポジトリ）
https://irdb.nii.ac.jp
Original Data Provider (Database): 慶應義塾大学 : 慶應義塾大学学術情報リポジトリ