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文書・図像類

熱輸送特性と不純物特性の制御による高性能Siナノ細線トランジスタの設計指針の確立

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熱輸送特性と不純物特性の制御による高性能Siナノ細線トランジスタの設計指針の確立

Material type
文書・図像類
Author
内田, 建
Publisher
-
Publication date
2017
Material Format
Digital
Capacity, size, etc.
-
NDC
-
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Notes on use

Note (General):

type:textナノ構造半導体において, サイズ縮小に伴いドナー不純物のイオン化エネルギーが大きくなることを明らかにした。Siナノシートにおいては, 実験的にイオン化エネルギーの増大と臨界不純物濃度の高濃度化を確認しモデル化することに成功した。Siナノワイヤーにおいては, 不純物準位を計算によって...

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科研費研究者番号 : 30446900

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Digital

Material Type
文書・図像類
Author/Editor
内田, 建
Author Heading
Publication Date
2017
Publication Date (W3CDTF)
2017
Alternative Title
ネツ ユソウ トクセイ ト フジュンブツ トクセイ ノ セイギョ ニ ヨル コウセイノウ Si ナノサイセン トランジスタ ノ セッケイ シシン ノ カクリツ
Netsu yusō tokusei to fujunbutsu tokusei no seigyo ni yoru kōseinō Si nanosaisen toranjisuta no sekkei shishin no kakuritsu
Design guideline for high-performance Si nano-wire transistor by optimization of thermal and impurity properties
Periodical title
科学研究費補助金研究成果報告書
Text Language Code
jpn
eng