紫外線硬化材料の屈折率変化を利用した3次元MEMSフォトリソグラフィ

Material type: 文書・図像類

Author: 高橋, 英俊ほか

Publisher: -

Publication date: 2019

Material Format: Digital

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Note (General)：: type:text本研究ではMicroElectroMechanical Systems (MEMS) の基本プロセスの1つであるフォトリソグラフィにおいて、紫外線硬化材料の硬化前後の屈折率の変化を利用した3次元微細構造を製作する方法論の確立を目指した。作製においては、紫外線硬化材料で生体適合性のあ...

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科研費研究者番号 : 90625485

科研費研究者番号 : 00724543

科研費研究者番号 : 30504815

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Material Type: 文書・図像類
Title: 紫外線硬化材料の屈折率変化を利用した3次元MEMSフォトリソグラフィ
Author/Editor: 高橋, 英俊
江島, 広貴
菅, 哲朗
Author Heading: 高橋, 英俊
江島, 広貴
菅, 哲朗
Publication Date: 2019
Publication Date (W3CDTF): 2019
Alternative Title: シガイセンコウカザイリョウノクッセツリツヘンカオリヨウシタ 3ジゲン MEMS フォトリソグラフィ
Shigaisen kōka zairyō no kussetsuritsu henka o riyōshita 3jigen MEMS fotorisogurafi
3D MEMS photolithography using difference in refractive index of UV curable material
Periodical title: 科学研究費補助金研究成果報告書
Text Language Code: jpn
eng
Subject Heading: MEMS,フォトリソグラフィ,3次元構造
Target Audience: 一般
Note (General): type:text
本研究ではMicroElectroMechanical Systems (MEMS) の基本プロセスの1つであるフォトリソグラフィにおいて、紫外線硬化材料の硬化前後の屈折率の変化を利用した3次元微細構造を製作する方法論の確立を目指した。作製においては、紫外線硬化材料で生体適合性のあるPolyethylene Glycol Diacrylate (PEGDA) を用いた。屈折率の変化によって、照射される紫外線は材料の中を直進せず屈折し、3次元的な構造が製作される。マイクロニードルやマイクロ吸盤などの機能的な3次元微細構造の設計・製作を理論及び実験の両面から研究を遂行した。 In this research, we developed a fabrication method of a three-dimensional (3D) microstructure via photolithography, which is one of the basic Micro Electro Mechanical Systems (MEMS) processes. We realized such 3D photolithography based on refractive-indices changes of UV curable material during photo-polymerization. When such material is used, UV light ray receives refraction effect during exposure, thus changes the light path and forms 3D photo-polymerized structure. Polyethylene Glycol Diacrylate (PEGDA), which is one of the common UV curable and biocompatible materials, was used in the fabrication process. We demonstrated the 3D lithography by fabricating PEGDA microneedle array, micro suction cup array, and so on.
研究種目 : 挑戦的研究 (萌芽) 研究期間 : 2018～2019 課題番号 : 18K18802 研究分野 : 機械工学
Source: https://koara.lib.keio.ac.jp/xoonips/modules/xoonips/download.php?koara_id=KAKEN_18K18802seika
https://koara.lib.keio.ac.jp/xoonips/modules/xoonips/download.php?koara_id=KAKEN_18K18802seika
Access Restrictions: 限定公開
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科研費研究者番号 : 00724543
科研費研究者番号 : 30504815
Data Provider (Database): 国立情報学研究所 : 学術機関リポジトリデータベース（IRDB）（機関リポジトリ）
https://irdb.nii.ac.jp
Original Data Provider (Database): 慶應義塾大学 : 慶應義塾大学学術情報リポジトリ