原子的に平坦なダイヤモンド(111)表面の大面積形成及びその機能の創出

Material type: 文書・図像類

Author: 德田, 規夫ほか

Publisher: -

Publication date: 2010-05-15

Material Format: Digital

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NDC: -

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Note (General)：: 金沢大学ナノマテリアル研究所プラズマCVDを用いたダイヤモンド結晶成長モードを制御することで、ダイヤモンド表面を原子レベルで制御することを行った。その結果、デバイスサイズ100×100μm2のステップフリーダイヤモンド(111)表面の形成に成功した。また、単原子ステップを持つ正三角形島構造を世界最小...

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Material Type: 文書・図像類
Title: 原子的に平坦なダイヤモンド(111)表面の大面積形成及びその機能の創出
Author/Editor: 德田, 規夫
Tokuda, Norio
Author Heading: 德田, 規夫
Tokuda, Norio
Publication Date: 2010-05-15
Publication Date (W3CDTF): 2010-05-15
Alternative Title: Large-area formation of atomically flat diamond (111) surface and ceration of the functions
Periodical title: 平成21(2009)年度科学研究費補助金若手研究(B) 研究成果報告書 = 2009 Fiscal Year Final Research Report
No. or year of volume/issue: 2008-2009
Volume: 2008-2009
Pages: 5p.-
Text Language Code: jpn
Subject Heading: ダイヤモンド
半導体
結晶成長
表面制御
標準試料
Target Audience: 一般
Note (General): 金沢大学ナノマテリアル研究所
プラズマCVDを用いたダイヤモンド結晶成長モードを制御することで、ダイヤモンド表面を原子レベルで制御することを行った。その結果、デバイスサイズ100×100μm2のステップフリーダイヤモンド(111)表面の形成に成功した。また、単原子ステップを持つ正三角形島構造を世界最小のナノメートルスケールの物差しとして提案した。
The control of diamond surface in atomic level has been studied by controlling the diamond crystal growth using plasma-enhanced CVD. As a result, 100×100μm2 step-free surface of diamond (111) was successfully formed. The diamond nano-structure, which was composed of equivalent triangular islands with single steps, was suggested as world's smallest nanometer-sized ruler.
出典：研究課題「原子的に平坦なダイヤモンド(111)表面の大面積形成及びその機能の創出」課題番号20760455（KAKEN：科学研究費助成事業データベース（国立情報学研究所））（https://kaken.nii.ac.jp/report/KAKENHI-PROJECT-20760455/20760455seika/）を加工して作成
DOI: 10.24517/00052823
Access Restrictions: 限定公開
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https://kaken.nii.ac.jp/grant/KAKENHI-PROJECT-20760455/
https://kaken.nii.ac.jp/report/KAKENHI-PROJECT-20760455/20760455seika/
Data Provider (Database): 国立情報学研究所 : 学術機関リポジトリデータベース（IRDB）（機関リポジトリ）
https://irdb.nii.ac.jp
Original Data Provider (Database): 金沢大学 : 金沢大学学術情報リポジトリKURA