電圧及び光駆動方式の半導体空間光変調パネルの開発

• Material Type: 文書・図像類
• Title: 電圧及び光駆動方式の半導体空間光変調パネルの開発
• Author/Editor: 桑村, 有司; Kuwamura, Yuji
• Author Heading: 桑村, 有司; Kuwamura, Yuji
• Publication, Distribution, etc.: 金沢大学理工研究域電子情報通信学系
• Publication Date: 2006-03
• Publication Date (W3CDTF): 2006-03
• Alternative Title: Development of semiconductor-based spatial light modulation-panel driven by voltage or light
• Periodical title: 平成17(2005)年度 科学研究費補助金 基盤研究(C) 研究成果報告書 = 2005 Fiscal Year Final Research Report
• No. or year of volume/issue: 2004-2005
• Volume: 2004-2005
• Pages: 6p.-
• Text Language Code: jpn
• Subject Heading: 光変調器; 平面型光変調器; フランツ・ケルディッシュ効果; スマートピクセル; 並列光情報処理; 光コンピュータ; optical modulators; planar optical modulators; Franz-Keldysh effect; Smart pixcel; parallol optical information processing; optical computer
• Target Audience: 一般
• Note (General): 光コンピュータシステムの確立は光エレクトロニクス分野の発展とって望まれている。空間光変調パネルや光変調アレーはこれらのシステムのキーデバイスになるであろう。我々は,高速動作,高い消光比,高密度集積可能という特徴を持った光透過タイプの半導体光空間変調パネルを提案し,その開発を行ってきた。2004〜2005年におけるこの研究では,1)光変調画素の高速化,2)消費電力の低減,3)光入力信号による光演算の実現,4)ピクセルの大規模集積化(1000×1000)などの目標について研究を行ない,以下の結果が得られた。1,高速化:光変調画素の寸法を60×60μm^2まで小型化することで画素の電気容量を小さくし,動作速度は120MHzまで高速化できた。2.消費電力の低減:画素構造中の半導体不純物濃度を最適化した。その結果,画素の消費電力は従来の1/10まで低減され,0.1mWとなった。3.光信号による光論理演算の実現:ヘテロパイポーラ光トランジスタと上配光変調画素を集積化し,光入力信号を使って光出力強度をコントロールできる光反転動作が実現された。4.大規模集積化:1000×1000の大規模集積化は実現できなかったが,微細加工技術及びプロセス技術の改善や多数の画素への電気配線の方法などを検討し,大規模集積化に向けての基礎技術を開発した。; Establishment of optical computing systems is expected for further development of optoelectronics. Spatial light modulators or optical modulator arrays are going to be key devices in these systems. We have proposed the semiconductor-based spatial light modulation-panel of the optical transmission type with the feature such as the high-speed operation, the high extinction ratio and the large-scale integration. In this research between 2004 and 2005 years, the targets such as 1) the speed-up of the modulation pixel, 2) the decrease of power consumption, 3) achievement of optical operation with light input signal and 4) making to the large-scale integration of pixels(1000×1000) were researched and the following results were achieved.1. Speed-up : The capacity of the pixel was decreased by miniaturizing the size of the pixel to 60 μm^2 corner level, and operation speed was able to be sped up to 120MHz.2. Economizing electric power : The densities of impurities in semiconductor pixel structure were optimized. As a result, the power consumption of the pixel has decreased to past 1/10 and become 0.1mW.3. Achievement of optical operation with light signal : The hetero bipolar phototransistor and the above-mentioned modulation pixel were integrated, and an optical reversing operation to control optical output intensity by the optical input signal achieved.4. Large-scale integration : The method of the electric wiring to the improvement of the microfabrication technology and the process technology and a lot of pixels etc. were examined, and the basic technology for making to the large-scale integration was developed though the integration of 1000×1000 was not able to be achieved.; 研究課題/領域番号:16560035, 研究期間(年度):2004-2005; 出典：「電圧及び光駆動方式の半導体空間光変調パネルの開発」研究成果報告書 課題番号16560035 (KAKEN：科学研究費助成事業データベース（国立情報学研究所）) 本文データは著者版報告書より作成
• DOI: 10.24517/00053970
• Access Restrictions: 限定公開
• Related Material: https://kaken.nii.ac.jp/search/?qm=10195612; https://kaken.nii.ac.jp/grant/KAKENHI-PROJECT-16560035/; https://kaken.nii.ac.jp/report/KAKENHI-PROJECT-16560035/165600352005kenkyu_seika_hokoku_gaiyo/
• Data Provider (Database): 国立情報学研究所 : 学術機関リポジトリデータベース（IRDB）（機関リポジトリ）; https://irdb.nii.ac.jp
• Original Data Provider (Database): 金沢大学 : 金沢大学学術情報リポジトリKURA