高分子表面への液中プラズマ照射により発現する界面反応場の解明

Material type: 文書・図像類

Author: 石島, 達夫ほか

Publisher: -

Publication date: 2019-07-29

Material Format: Digital

Capacity, size, etc.: -

NDC: -

View All

Notes on use

Note (General)：: 金沢大学サステナブルエネルギー研究センター液中プラズマと高分子表面との相互作用は、固体・液体・気体・プラズマが時間的、空間的に近接して存在し作用する重相構造プラズマの実験系であり極めて複雑である。そのため、液体との相互作用を用いた反応場を安定かつ制御性よく調査するためのプラズマ生成装置が重要である。...

Related materials as well as pre- and post-revision versions

https://kaken.nii.ac.jp/ja/search/?kw=00324450

https://kaken.nii.ac.jp/ja/grant/KAKENHI-PUBLICLY-24110707/

https://kaken.nii.ac.jp/ja/grant/KAKENHI-AREA-2109/

https://kaken.nii.ac.jp/en/grant/KAKENHI-AREA-2109/

Search by Bookstore

Holdings of Libraries in Japan

This page shows libraries in Japan other than the National Diet Library that hold the material.

List of Cooperating Institutions and Databases

Please contact your local library for information on how to use materials or whether it is possible to request materials from the holding libraries.

other

Kanazawa University Repository for Academic Resources
Digital
You can check the holdings of institutions and databases with which 学術機関リポジトリデータベース（IRDB）（機関リポジトリ） is linked at the site of 学術機関リポジトリデータベース（IRDB）（機関リポジトリ）.
Kanazawa University Repository for Academic Resources

Search by Bookstore

Bibliographic Record

You can check the details of this material, its authority (keywords that refer to materials on the same subject, author's name, etc.), etc.

Digital

Material Type: 文書・図像類
Title: 高分子表面への液中プラズマ照射により発現する界面反応場の解明
Author/Editor: 石島, 達夫
Ishijima, Satoshi
Author Heading: 石島, 達夫
Ishijima, Satoshi
Publication Date: 2019-07-29
Publication Date (W3CDTF): 2019-07-29
Alternative Title: プラズマとナノ界面の相互作用に関する学術基盤の創成
Creation of Science of Plasma Nano-Interface Interactions
Periodical title: 平成25(2013)年度科学研究費補助金新学術領域研究(研究領域提案型) 研究実績の概要 = 2013 Research Project Summary
No. or year of volume/issue: 2012-04-01 – 2014-03-31
Volume: 2012-04-01 – 2014-03-31
Pages: 2p.-
Text Language Code: jpn
Subject Heading: 重相構造プラズマ
液中プラズマ
プラズマナノ界面
マイクロ波プラズマ
低温大気圧プラズマ
液中・液界面プラズマ
ナノ界面
高分子薄膜
Target Audience: 一般
Note (General): 金沢大学サステナブルエネルギー研究センター
液中プラズマと高分子表面との相互作用は、固体・液体・気体・プラズマが時間的、空間的に近接して存在し作用する重相構造プラズマの実験系であり極めて複雑である。そのため、液体との相互作用を用いた反応場を安定かつ制御性よく調査するためのプラズマ生成装置が重要である。新たに開発した方式により扁平プラズマを水中気泡内に生成させ高分子表面へプラズマ照射しナノ界面現象の調査を行った。高分子材料には半導体プロセス工程で用いられる種々のレジスト材料を取り扱った。また高分子材料に対するナノ界面の反応現象を検討するために、レジスト材料に高密度・高エネルギーのイオン注入を行うことで界面でのレジスト材のナノ構造を能動的に変えることにより影響を調査した。ノボラック樹脂をベースとするレジスト膜に、様々なエネルギー、注入密度でイオン注入を行った。一般に、イオン注入されたレジスト材料は硬化し除去が困難となることが知られている。注入イオン種の質量が大きくなるほどアッシング速度が減少するものの、ある一定の厚みのレジストが除去されるとアッシング速度が増加することが分かった。また、過去に研究された湿潤オゾン照射や水素ラジカル照射時のレジストとの表面反応に関わる研究成果より、注入イオン種の質量の違いによってレジスト材の膜厚方向に対する分布が異なることが分かっている。本研究で行った液中プラズマ照射において、アッシング速度が変化するレジスト層の厚さは、レジスト材料が硬化すると推定される膜厚とほぼ一致することから、高分子ナノ界面での反応速度は高分子の架橋により硬化する度合いに強く依存することが明らかとなった。またマイクロ波励起の液中プラズマによる固体表面の高分子膜の除去速度は、常温環境であるにも関わらず従来の手法と比べて極めて速いことが分かった。重相構造プラズマ環境がナノ界面反応を促進しているものと考えられる。
研究課題/領域番号:24110707, 研究期間(年度):2012-04-01 – 2014-03-31
DOI: 10.24517/00060097
Source: https://kanazawa-u.repo.nii.ac.jp/?action=repository_action_common_download&item_id=53816&item_no=1&attribute_id=26&file_no=1
https://kanazawa-u.repo.nii.ac.jp/?action=repository_action_common_download&item_id=53816&item_no=1&attribute_id=26&file_no=1
Access Restrictions: 限定公開
Rights (production): CC BY-NC-ND
Related Material: https://kaken.nii.ac.jp/ja/search/?kw=00324450
https://kaken.nii.ac.jp/ja/grant/KAKENHI-PUBLICLY-24110707/
https://kaken.nii.ac.jp/ja/grant/KAKENHI-AREA-2109/
https://kaken.nii.ac.jp/en/grant/KAKENHI-AREA-2109/
Data Provider (Database): 国立情報学研究所 : 学術機関リポジトリデータベース（IRDB）（機関リポジトリ）
https://irdb.nii.ac.jp
Original Data Provider (Database): 金沢大学 : 金沢大学学術情報リポジトリKURA