低周波誘導熱プラズマ炉の試作と巨大クラスター生成への応用

• Material Type: 文書・図像類
• Title: 低周波誘導熱プラズマ炉の試作と巨大クラスター生成への応用
• Author/Editor: 作田, 忠裕; Sakuta, Tadahiro
• Author Heading: 作田, 忠裕; Sakuta, Tadahiro
• Publication Date: 1999-12-07
• Publication Date (W3CDTF): 1999-12-07
• Alternative Title: Development of Low-Fregnency Induction Thermal Plasma for Cluster Synthesis
• Periodical title: 平成10(1998)年度 科学研究費補助金 基盤研究(A) 研究成果報告書概要 = 1998 Fiscal Year Final Research Report Summary
• No. or year of volume/issue: 1996 – 1998
• Volume: 1996 – 1998
• Pages: 2p.-
• Text Language Code: jpn
• Subject Heading: 低周波磁界; 大口径プラズマ; プラズマ・プロセシング; 高速プロセシング; インバータ電源; クラスター; フラーレン; Wide Area Plasma; Plasma Processing; Induction Plasma; High Rate Processing; Inverter; Cluster; Fullerene
• Target Audience: 一般
• Note (General): 金沢大学工学部; 平成10年度では、周波数450kHzにおいて、低周波コイル形状を大口径150mm直径、長さを150mmとし、従来にはない広い領域のプラズマを発生させることに成功した。最小所要のプラズマ電力は、周波数450kHzで約30kWであることを確認した。また、これを用いた巨大クラスタ一C60等の生成実験を、フラーレン合成に適しているといわれるHeおよびCO2ガス雰囲気中でのプラズマで行った。1) プラズマ高温場の分光計測 平成8年度で設備備品として購入した450KHz低周波電源を用いて大口径のAr、He、CO2等種々の誘導プラズマを形成させ、電力30kWにおいていずれのプラズマも発生可能であることがわかった。特に、CO2混入プラズマはAr/He希ガスプラズマと比べプラズマ温度が高くなることが判明した。2) 大口径プラズマへの微粒子負荷の導入 これら誘導プラズマ中に負荷としての原材料炭素粉末を注入し、高速分光測定によりプラズマ温度場の安定性を測定した結果、いずれのプラズマも中心温度の低下が認められるものの、全体としての高反応場は安定に維持することができた。3) クラスター生成実験 この低周波誘導熱プラズマ炉を用いて実際にクラスター生成実験を進めた。原料に炭素粉末を用い、炭素系フラーレンの連続生成実験を行った。プロセスパラメータは、プラズマへの入力電力、原料注入速度、Ar、He、CO2ガスの構成比とする。特徴的なことは、CO2プラズマではC60フラーレンの生成がほとんどみられなかったが、Ar、Heを主体とする希ガス中プラズマにおいて大量のC60生成が可能であることが判明した。これは、希ガスによる炭素原子の急速冷却効果が極めて重要であることを示している。; In the third and final year of the project, 1998, a wide area induction plasma was successively generated by using MOSFET inverter power supply with a low frequency of 450 kHz and a power of 50 kW.The reaction area of the plasma is as wide as 150-mm diameter and 150-mm length, which enable us the high speed processing or synthesis of materials. C_<60> fullurene synthesis was carried out by using Ar, He and CO_2 induction thermal plasmas. Remarkable results are as follows.1) The transistor inverter supply was found to be useful to establish the inductively coupled plasma with a frequency of 450 kHz. At a power level of 30kW, several kinds of plasma can be generated in Ar, He and CO2 gas circumstance. The CO2 plasma was found to have relatively high temperature around 10,000 K compared to Ar and He plasma.2) These induction thermal plasmas were sufficiently stable for the injection of cold carbon powders up to a rate of 10 g/min, which is high enough quantity to produce the C_<60> cluster with a high rate.3) Among the experiments carried out under several conditions with respects to the gas sort, pressure and the power of plasma, Ar/He noble gas plasma showed the most highest C_<60> synthesis rate, while the dissociative CO_2 gas plasma showed no synthesis of C_<60>. The results indicate that a strong quenching effect of the radical C atom and C_2 molecule is essential for the synthesis of such high order fullurene materials.; 研究課題/領域番号:08555067, 研究期間(年度):1996 – 1998; 出典：研究課題「低周波誘導熱プラズマ炉の試作と巨大クラスター生成への応用」課題番号08555067（KAKEN：科学研究費助成事業データベース（国立情報学研究所）） （https://kaken.nii.ac.jp/ja/report/KAKENHI-PROJECT-08555067/085550671998kenkyu_seika_hokoku_gaiyo/）を加工して作成
• DOI: 10.24517/00066091
• Access Restrictions: 限定公開
• Related Material: https://kaken.nii.ac.jp/search/?qm=80135318; https://kaken.nii.ac.jp/ja/grant/KAKENHI-PROJECT-08555067/; https://kaken.nii.ac.jp/ja/report/KAKENHI-PROJECT-08555067/085550671998kenkyu_seika_hokoku_gaiyo/
• Data Provider (Database): 国立情報学研究所 : 学術機関リポジトリデータベース（IRDB）（機関リポジトリ）; https://irdb.nii.ac.jp
• Original Data Provider (Database): 金沢大学 : 金沢大学学術情報リポジトリKURA