複合顕微鏡による高温下でのナノ接点･接合形成のその場観察･解析

Material type: 文書・図像類

Author: 富取, 正彦

Publisher: -

Publication date: 2013-06-03

Material Format: Digital

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Note (General)：: 本研究では、２物体の間隔を制御できる走査型プローブ顕微鏡（SPM）を利用し、２つの微小物体を高温状態で接近・接触・溶融合・分離させ、その過程で構築されるナノ接点・接合を観察・解析することを目的とした。超高分解能電界放射走査型電子顕微鏡（SEM）と組み合わせたペンシル型SPM を用い、温度1000℃以...

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Material Type: 文書・図像類
Title: 複合顕微鏡による高温下でのナノ接点･接合形成のその場観察･解析
Author/Editor: 富取, 正彦
Author Heading: 富取, 正彦
Publication Date: 2013-06-03
Publication Date (W3CDTF): 2013-06-03
Alternative Title: In-situ observation and analysis of nano contacts and junctions formation at high temperatures by a combined microscope of SEM and SPM
Periodical title: 科学研究費助成事業研究成果報告書
Pages: 1-5
Text Language Code: jpn
Subject Heading: ナノコンタクト
表面･界面物性
走査プローブ顕微鏡
走査電子顕微鏡
物性実験
Target Audience: 一般
Note (General): 本研究では、２物体の間隔を制御できる走査型プローブ顕微鏡（SPM）を利用し、２つの微小物体を高温状態で接近・接触・溶融合・分離させ、その過程で構築されるナノ接点・接合を観察・解析することを目的とした。超高分解能電界放射走査型電子顕微鏡（SEM）と組み合わせたペンシル型SPM を用い、温度1000℃以上の加熱、接近・接触・溶融合を実現した。この成果は、ナノデバイスの電気的ナノ接点の構築に貢献する。 : The purpose of this study is to observe and analyze nano contacts and junctions, which are fabricated by bringing two small pieces of materials in proximity or in touch at high temperatures using scanning probe microscopy (SPM) techniques; the techniques can control the separation between them on a nano scale. We successfully demonstrated the approaching, contacting and welding between the two pieces, observed by an ultra-high resolution field-emission scanning electron microscope combined with a home-made pencil-type SPM.
研究種目：挑戦的萌芽研究
研究期間：2010～2012
課題番号：22656012
研究者番号：10188790
研究分野：表面科学、ナノプローブテクノロジー
科研費の分科・細目：応用物理学･工学基礎、薄膜・表面界面物性
identifier:https://dspace.jaist.ac.jp/dspace/handle/10119/11382
Format (IMT): application/pdf
Source: https://dspace.jaist.ac.jp/dspace/bitstream/10119/11382/1/22656012seika.pdf
https://dspace.jaist.ac.jp/dspace/bitstream/10119/11382/1/22656012seika.pdf
Access Restrictions: 限定公開
Data Provider (Database): 国立情報学研究所 : 学術機関リポジトリデータベース（IRDB）（機関リポジトリ）
https://irdb.nii.ac.jp
Original Data Provider (Database): 北陸先端科学技術大学院大学 : JAIST学術研究成果リポジトリ