走査型プローブ顕微鏡技術を利用したナノ接合界面の形成と解析

Material type: 文書・図像類

Author: 富取, 正彦

Publisher: -

Publication date: 2016-06-03

Material Format: Digital

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NDC: -

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Note (General)：: 本研究では、独自の走査型プローブ顕微鏡（SPM）技術（SEM―SPM、電圧印加非接触原子間力顕微鏡(nc-AFM)など）を発展させた。SEM-SPMを活用して、WO3粉担持の加熱した小型WフィラメントにW針を接近させてWOx突起を成長させる探針調製法、水晶振動子を基にした再調律2本プロング高感度力セ...

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Material Type: 文書・図像類
Title: 走査型プローブ顕微鏡技術を利用したナノ接合界面の形成と解析
Author/Editor: 富取, 正彦
Author Heading: 富取, 正彦
Publication Date: 2016-06-03
Publication Date (W3CDTF): 2016-06-03
Alternative Title: Analysis and fabrication of nanoscale contacts and interfaces by scanning probe microscopy technology
Periodical title: 科学研究費助成事業研究成果報告書
Pages: 1-6
Text Language Code: jpn
Subject Heading: 表面・界面物性
走査プローブ顕微鏡
ナノコンタクト
物性実験
Target Audience: 一般
Note (General): 本研究では、独自の走査型プローブ顕微鏡（SPM）技術（SEM―SPM、電圧印加非接触原子間力顕微鏡(nc-AFM)など）を発展させた。SEM-SPMを活用して、WO3粉担持の加熱した小型WフィラメントにW針を接近させてWOx突起を成長させる探針調製法、水晶振動子を基にした再調律2本プロング高感度力センサーの開発、極接近した探針と試料間の相互作用によるエネルギー損失の高感度測定を実施し、また、nc-AFMにチャージアンプを組み込み、探針－試料間の静電容量、接触電位差、電荷移動を原子レベルで観察・計測した。適用試料をπ共役系分子、酸化物超薄膜などへ広げ、原子レベルの表面・界面の科学技術に寄与した。 : We extended the performance of scanning probe microscopy (SPM) techniques developed with our bases, such as the combined instrument of SPM and scanning electron microscopy(SEM), and bias non-contact atomic force microscopy (nc-AFM). We carried out the followings: fabrication of SPM probes of WOx nanorods on W tips by bringing the tips closer to the source of WO3 powers supported on a W filament heated by use of the SEM-SPM setup; development of retuned two-prong quartz tuning forks for a high sensitivity force sensor; measurements of energy dissipation through the interaction between a tip and a sample; nanoscale electric measurements such as electric capacitance, contact potential difference, and charge transfer using a charge sensitive amplifier installed in the nc-AFM setup. We contributed to a scientific and technological field of surfaces and interfaces on atomic scale by applying them to π-conjugated molecules, and to the films and surfaces of oxides.
基盤研究(A)（一般）
研究期間：2012～2015
課題番号：24246014
研究者番号：10188790
研究分野：表面科学、ナノプローブテクノロジー
identifier:https://dspace.jaist.ac.jp/dspace/handle/10119/13682
Format (IMT): application/pdf
Source: https://dspace.jaist.ac.jp/dspace/bitstream/10119/13682/1/24246014seika.pdf
https://dspace.jaist.ac.jp/dspace/bitstream/10119/13682/1/24246014seika.pdf
Access Restrictions: 限定公開
Data Provider (Database): 国立情報学研究所 : 学術機関リポジトリデータベース（IRDB）（機関リポジトリ）
https://irdb.nii.ac.jp
Original Data Provider (Database): 北陸先端科学技術大学院大学 : JAIST学術研究成果リポジトリ