プラズマチャンバー内における異常放電発生のリアルタイムモニタリング技術の研究

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Material Type: 文書・図像類
Title: プラズマチャンバー内における異常放電発生のリアルタイムモニタリング技術の研究
Author/Editor: 尾保手,, 茂樹
OBOTE,, Shigeki
Author Heading: 尾保手,, 茂樹
OBOTE,, Shigeki
Publication, Distribution, etc.: 茨城大学工学部
Publication Date: 2009-06
Publication Date (W3CDTF): 2009-06
Alternative Title: Study on a real-time monitoring technique of electromagnetic discharge in a plasma chamber
プラズマチャンバーナイニオケルイジョウホウデンハッセイノリアルタイムモニタリングギジュツノケンキュウ
Text Language Code: jpn
Target Audience: 一般
Note (General): application/pdf
研究報告書
DOI: 10.34405/00009937
Access Restrictions: 限定公開
Data Provider (Database): 国立情報学研究所 : 学術機関リポジトリデータベース（IRDB）（機関リポジトリ）
https://irdb.nii.ac.jp
Original Data Provider (Database): 茨城大学 : 茨城大学学術情報リポジトリ