文書・図像類

Alイオン注入4H-SiCの電気特性とダイオード特性(化合物半導体プロセス・デバイス・一般)

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Alイオン注入4H-SiCの電気特性とダイオード特性(化合物半導体プロセス・デバイス・一般)

Material type
文書・図像類
Author
佐藤, 政孝ほか
Publisher
電子情報通信学会
Publication date
2007-06-08
Material Format
Digital
Capacity, size, etc.
-
NDC
-
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信学技報 Technical Report of IEICE. ED2007-45

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Digital

Material Type
文書・図像類
Title
Alイオン注入4H-SiCの電気特性とダイオード特性(化合物半導体プロセス・デバイス・一般)
Author/Editor
佐藤, 政孝
宮川, 晋悟
工藤, 尚宏
永田, 翔平
田島, 卓
中村, 徹
Satoh, Masataka
Miyagawa, Shingo
Kudoh, Takahiro
Tajima, Taku
Nakamura, Tohru
Author Heading
佐藤, 政孝
宮川, 晋悟
工藤, 尚宏
永田, 翔平
田島, 卓
中村, 徹
Satoh, Masataka
Miyagawa, Shingo
Kudoh, Takahiro
Tajima, Taku
Nakamura, Tohru
Publication, Distribution, etc.
電子情報通信学会
Publication Date
2007-06-08
Publication Date (W3CDTF)
2007-06-08
Alternative Title
Electrical Properties of Al Ion Implanted 4H-SiC Layer
Periodical title
電子情報通信学会技術研究報告. ED, 電子デバイス
No. or year of volume/issue
95