半導体材料プロセスにおける結晶欠陥の生成消滅とその透過電子顕微鏡による評価法に関する研究

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Material Type: 博士論文
Title: 半導体材料プロセスにおける結晶欠陥の生成消滅とその透過電子顕微鏡による評価法に関する研究
Author/Editor: 岩田, 博之
Author Heading: 岩田, 博之
Publication, Distribution, etc.: 愛知工業大学
Publication Date: 2018-03-23
Publication Date (W3CDTF): 2018-03-23
Alternative Title: ハンドウタイザイリョウプロセスニオケルケッショウケッカンノセイセイショウメツトソノトウカデンシケンビキョウニヨルヒョウカホウニカンスルケンキュウ
Pages: 1-144
Degree grantor/type: 愛知工業大学
Date Granted: 2018-03-23
Dissertation Number: 乙第30号
Degree Type: 博士(工学)
Text Language Code: jpn
Target Audience: 一般
Note (General): identifier:http://repository.aitech.ac.jp/dspace/handle/11133/3308
Format (IMT): application/pdf
Access Restrictions: インターネット公開
Data Provider (Database): 国立情報学研究所 : 学術機関リポジトリデータベース（IRDB）（機関リポジトリ）
https://irdb.nii.ac.jp
Original Data Provider (Database): 愛知工業大学 : 愛知工業大学学術情報リポジトリ