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その他

次世代半導体デバイス洗浄における高周波石英振動体型超音波洗浄装置の開発とその評価技術に関する研究

次世代半導体デバイス洗浄における高周波石英振動体型超音波洗浄装置の開発とその評価技術に関する研究

Material type
その他
Author
清家, 善之ほか
Publisher
愛知工業大学
Publication date
2022-10
Material Format
Digital
Capacity, size, etc.
-
NDC
-
View All

Notes on use

Note (General):

出版タイプ: NAidentifier:http://repository.aitech.ac.jp/dspace/handle/11133/4124

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Bibliographic Record

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Digital

Material Type
その他
Author/Editor
清家, 善之
森, 竜雄
一野, 祐亮
本多, 祐二
疋田, 智美
Publication, Distribution, etc.
Publication Date
2022-10
Publication Date (W3CDTF)
2022
Alternative Title
ジセダイ ハンドウタイ デバイス センジョウ ニオケル コウシュウハ セキエイ シンドウタイガタ チョウオンパ センジョウ ソウチ ノ カイハツ ト ソノ ヒョウカ ギジュツ ニ カンスル ケンキュウ
Periodical title
総合技術研究所研究報告=Bulletin of Research Institute for Industrial Technology.
No. or year of volume/issue
24