逆向型ラジカル源を用いた薄膜化技術に関する研究(平成3〜6年度無機材質特別研究 1995 科学技術庁無機材質研究所研究報告書第85号

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Material Type: 文書・図像類
Title: 逆向型ラジカル源を用いた薄膜化技術に関する研究(平成3〜6年度無機材質特別研究 1995 科学技術庁無機材質研究所研究報告書第85号
Author/Editor: 無機材質研究所
Author Heading: 無機材質研究所
Publication, Distribution, etc.: 無機材質研究所
Publication Date: 1995-11-13
Publication Date (W3CDTF): 1995-11-13
Periodical title: 無機材質研究所研究報告書
ISSN (Periodical Title): ISSN : 13425129
Text Language Code: und
Target Audience: 一般
DOI: 10.11503/NIRIM0085
Access Restrictions: インターネット公開
Rights (production): In Copyright
Data Provider (Database): 国立情報学研究所 : 学術機関リポジトリデータベース（IRDB）（機関リポジトリ）
https://irdb.nii.ac.jp
Original Data Provider (Database): 物質・材料研究機構 : Materials Data Repository