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Bibliographic Record
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- Material Type
- 図書
- Title Transcription
- シュウセキ カイロ アイシー エルエスアイ ヴイエルエスアイ ノ セイゾウ カコウ コウテイ ニ オケル チョウビサイ カコウ カクシュ プロセス ギジュツ ノ モンダイテン ト ジツヨウカ : ソウゴウ ギジュツ シリョウシュウ
- Author/Editor
- ソフト技研出版部 企画・編集
- Title Heading
- 集積回路<IC・LSI・VLSI>の製造・加工工程における超微細加工・各種プロセス技術の問題点と実用化 シュウセキ カイロ アイシー エルエスアイ ヴイエルエスアイ ノ セイゾウ カコウ コウテイ ニ オケル チョウビサイ カコウ カクシュ プロセス ギジュツ ノ モンダイテン ト ジツヨウカ
- Author Heading
- ソフト技研 ソフト, ギケン
- Publication, Distribution, etc.
- Publication Date
- 1981.7
- Publication Date (W3CDTF)
- 1981
- Extent
- 382p ; 31cm