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次世代半導体用の難加工結晶材料のための超精密加工技術

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次世代半導体用の難加工結晶材料のための超精密加工技術

Material type
図書
Author
會田英雄 監修 ; 土肥俊郎 監修
Publisher
R&D支援センター
Publication date
2024.4
Material Format
Paper
Capacity, size, etc.
538p ; 26cm
Collection
-
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Paper

Material Type
図書
ISBN
4905507710
9784905507710
Title Transcription
ジセダイ ハンドウタイヨウ ノ ナンカコウ ケッショウ ザイリョウ ノ タメ ノ チョウ セイミツ カコウ ギジュツ
Author/Editor
會田英雄 監修 ; 土肥俊郎 監修
Title Heading
次世代半導体用の難加工結晶材料のための超精密加工技術 ジセダイ ハンドウタイヨウ ノ ナンカコウ ケッショウ ザイリョウ ノ タメ ノ チョウ セイミツ カコウ ギジュツ
Author Heading
土肥, 俊郎 ドイ, トシロウ
Publication, Distribution, etc.
Publication Date
2024.4
Publication Date (W3CDTF)
2024