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Bibliographic Record
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- Material Type
- 図書
- ISBN
- 4-8222-1341-2
- Title Transcription
- メムス テクノロジ : MEMS テクノロジ : ヨウト カクダイ タイリョウ セイサン ジダイ ノ アプリ デバイス ソウチ ブザイ
- Volume
- 2007
- Author/Editor
- 日経マイクロデバイス 編集日経エレクトロニクス 編集
- Author Heading
- 日経マイクロデバイス ニッケイ マイクロ デバイス日経エレクトロニクス ニッケイ エレクトロニクス
- Publication, Distribution, etc.
- Publication Date (W3CDTF)
- 2006
- Extent
- 263p ; 28cm