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博士論文

高周波イオンプレーティング法による薄膜形成に関する研究

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高周波イオンプレーティング法による薄膜形成に関する研究

Call No. (NDL)
UT51-61-E595
Bibliographic ID of National Diet Library
000000167979
Material type
博士論文
Author
柏木邦宏 [著]
Publisher
-
Publication date
-
Material Format
Paper
Capacity, size, etc.
-
Name of awarding university/degree
大阪大学,工学博士
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博士論文

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Paper Digital

Material Type
博士論文
Title
高周波イオンプレーティング法による薄膜形成に関する研究
Title Transcription
コウシュウハ イオン プレーティングホウ ニ ヨル ハクマク ケイセイ ニ カンスル ケンキュウ
Author/Editor
柏木邦宏 [著]
Author Heading
柏木, 邦宏 カシワギ, クニヒロ
Extent
冊
Degree grantor/type
大阪大学
Date Granted
昭和61年1月31日
Date Granted (W3CDTF)
1986
Dissertation Number
乙第3775号