博士論文

電子線描画装置用可変成形ビームの研究

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電子線描画装置用可変成形ビームの研究

Call No. (NDL)
UT51-61-E642
Bibliographic ID of National Diet Library
000000168026
Material type
博士論文
Author
中筋護 [著]
Publisher
-
Publication date
-
Material Format
Paper
Capacity, size, etc.
-
Name of awarding university/degree
大阪大学,工学博士
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博士論文

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Paper

Material Type
博士論文
Title
電子線描画装置用可変成形ビームの研究
Title Transcription
デンシセン ビョウガ ソウチヨウ カヘン セイケイ ビーム ノ ケンキュウ
Author/Editor
中筋護 [著]
Author Heading
中筋, 護 ナカスジ, マモル
Extent
冊
Degree grantor/type
大阪大学
Date Granted
昭和61年3月7日
Date Granted (W3CDTF)
1986
Dissertation Number
乙第3822号