博士論文

HF-NO2混合気体処理によるシリコン・デバイスの表面保護方法の研究

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HF-NO2混合気体処理によるシリコン・デバイスの表面保護方法の研究

Call No. (NDL)
UT51-61-K254
Bibliographic ID of National Diet Library
000000168432
Material type
博士論文
Author
伊藤秀朗 [著]
Publisher
-
Publication date
-
Material Format
Paper
Capacity, size, etc.
-
Name of awarding university/degree
東海大学,工学博士
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博士論文

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Paper

Material Type
博士論文
Title Transcription
HF-NO2 コンゴウ キタイ ショリ ニ ヨル シリコン デバイス ノ ヒョウメン ホゴ ホウホウ ノ ケンキュウ
Author/Editor
伊藤秀朗 [著]
Author Heading
伊藤, 秀朗 イトウ, ヒデオ
Extent
Degree grantor/type
東海大学
Date Granted
昭和61年3月25日
Date Granted (W3CDTF)
1986
Dissertation Number
乙第41号