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Bibliographic Record
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- Material Type
- 博士論文
- Title Transcription
- Moケイ スパッタリング ハクマク ノ セイシツ ト MOS LSI ゲート デンキョク エ ノ オウヨウ ニ カンスル ケンキュウ
- Author/Editor
- 大藤晋一 [著]
- Author Heading
- 大藤, 晋一 オオフジ, シンイチ
- Extent
- 冊
- Degree grantor/type
- 早稲田大学
- Date Granted
- 昭和61年2月19日
- Date Granted (W3CDTF)
- 1986
- Dissertation Number
- 乙第544号