博士論文

Investigations on doped μc-Si and applications to sensors

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Investigations on doped μc-Si and applications to sensors

Call No. (NDL)
UT51-61-N211
Bibliographic ID of National Diet Library
000000170015
Material type
博士論文
Author
西田彰志 [著]
Publisher
-
Publication date
-
Material Format
Paper
Capacity, size, etc.
-
Name of awarding university/degree
東京工業大学,工学博士
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博士論文

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Paper

Material Type
博士論文
Author/Editor
西田彰志 [著]
Author Heading
西田, 彰志 ニシダ, ショウジ
Extent
Alternative Title
微結晶化アモルファスSi薄膜の物性とセンサへの応用に関する研究 ビケッショウカ アモルファス Si ハクマク ノ ブッセイ ト センサ エ ノ オウヨウ ニ カンスル ケンキュウ
Degree grantor/type
東京工業大学
Date Granted
昭和61年3月26日
Date Granted (W3CDTF)
1986
Dissertation Number
甲第1731号