博士論文

アルカリ土類金属弗化物を用いた化合物半導体SOI構造のヘテロエピタキシーに関する研究

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アルカリ土類金属弗化物を用いた化合物半導体SOI構造のヘテロエピタキシーに関する研究

Call No. (NDL)
UT51-61-N233
Bibliographic ID of National Diet Library
000000170037
Material type
博士論文
Author
筒井一生 [著]
Publisher
-
Publication date
-
Material Format
Paper
Capacity, size, etc.
-
Name of awarding university/degree
東京工業大学,工学博士
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博士論文

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Paper

Material Type
博士論文
Title Transcription
アルカリ ドルイ キンゾク フッカブツ オ モチイタ カゴウブツ ハンドウタイ SOI コウゾウ ノ ヘテロエピタキシー ニ カンスル ケンキュウ
Author/Editor
筒井一生 [著]
Author Heading
筒井, 一生 ツツイ, カズオ
Extent
Degree grantor/type
東京工業大学
Date Granted
昭和61年3月26日
Date Granted (W3CDTF)
1986
Dissertation Number
甲第1753号