アルカリ土類金属弗化物を用いたヘテロエピタキシャルSOI構造の形成に関する研究

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Material Type: 博士論文
Title: アルカリ土類金属弗化物を用いたヘテロエピタキシャルSOI構造の形成に関する研究
Title Transcription: アルカリドルイキンゾクフッカブツオモチイタヘテロエピタキシャル SOI コウゾウノケイセイニカンスルケンキュウ
Author/Editor: 浅野種正 [著]
Author Heading: 浅野, 種正アサノ, タネマサ
Extent: 冊
Degree grantor/type: 東京工業大学
Date Granted: 昭和60年5月31日
Date Granted (W3CDTF): 1985
Dissertation Number: 乙第1456号
Degree Type: 工学博士
Note (Dissertation): 博士論文
Place of Publication (Country Code): JP
NDLC: UT51
UT31
Note (General): 博士論文
Holding library: 国立国会図書館
Call No.: UT51-61-N253
Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
https://ndlsearch.ndl.go.jp
Bibliographic ID (NDL): 000000170057
http://id.ndl.go.jp/bib/000000170057
Bibliographic Record Category (NDL): 213