博士論文

CVD法およびプラズマCVD法によるSi系絶縁薄膜形成法の研究

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CVD法およびプラズマCVD法によるSi系絶縁薄膜形成法の研究

Call No. (NDL)
UT51-61-O27
Bibliographic ID of National Diet Library
000000170744
Material type
博士論文
Author
前田正彦 [著]
Publisher
-
Publication date
-
Material Format
Paper
Capacity, size, etc.
-
Name of awarding university/degree
北海道大学,工学博士
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博士論文

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Paper

Material Type
博士論文
Title Transcription
CVDホウ オヨビ プラズマ CVDホウ ニ ヨル Siケイ ゼツエン ハクマク ケイセイホウ ノ ケンキュウ
Author/Editor
前田正彦 [著]
Author Heading
前田, 正彦 マエダ, マサヒコ
Extent
Degree grantor/type
北海道大学
Date Granted
昭和61年9月30日
Date Granted (W3CDTF)
1986
Dissertation Number
乙第3076号