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Bibliographic Record
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- Material Type
- 博士論文
- Author/Editor
- 唐島照介 [著]
- Author Heading
- 唐島, 照介 カラシマ, ショウスケ
- Extent
- 冊
- Alternative Title
- 分子イオン衝撃によるスパッタ率の非線形効果 ブンシ イオン ショウゲキ ニ ヨル スパッタリツ ノ ヒセンケイ コウカ
- Degree grantor/type
- 東京理科大学
- Date Granted
- 昭和59年7月23日
- Date Granted (W3CDTF)
- 1984
- Dissertation Number
- 乙第189号