博士論文

電子ビーム精密微細加工装置の開発に関する研究

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電子ビーム精密微細加工装置の開発に関する研究

Call No. (NDL)
UT51-60-J291
Bibliographic ID of National Diet Library
000000186532
Material type
博士論文
Author
松井重夫 [著]
Publisher
-
Publication date
-
Material Format
Paper
Capacity, size, etc.
-
Name of awarding university/degree
東京都立大学,工学博士
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博士論文

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Paper

Material Type
博士論文
Title Transcription
デンシ ビーム セイミツ ビサイ カコウ ソウチ ノ カイハツ ニ カンスル ケンキュウ
Author/Editor
松井重夫 [著]
Author Heading
松井, 重夫 マツイ, シゲオ
Extent
Degree grantor/type
東京都立大学
Date Granted
昭和60年3月14日
Date Granted (W3CDTF)
1985
Dissertation Number
乙第549号