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Bibliographic Record
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- Material Type
- 博士論文
- Author/Editor
- 六倉信喜 [著]
- Author Heading
- 六倉, 信喜 ムツクラ, ノブキ
- Extent
- 冊
- Alternative Title
- イオン・インプランテーションをした半導体の特性と低温度熱処理 イオン インプランテーション オ シタ ハンドウタイ ノ トクセイ ト テイオンド ネツ ショリ
- Degree grantor/type
- 東京電機大学
- Date Granted
- 昭和59年3月9日
- Date Granted (W3CDTF)
- 1984
- Dissertation Number
- 甲第9号