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Bibliographic Record
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- Material Type
- 博士論文
- Title Transcription
- シュウセキ カイロ ビサイ カコウ ノ タメ ノ ハンノウセイ スパッタ エッチング ギジュツ ノ カイハツ ニ カンスル ケンキュウ
- Author/Editor
- 黒木幸令 [著]
- Author Heading
- 黒木, 幸令 クロキ, ユキノリ
- Extent
- 冊
- Degree grantor/type
- 九州大学
- Date Granted
- 昭和58年9月27日
- Date Granted (W3CDTF)
- 1983
- Dissertation Number
- 乙第3075号