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博士論文

プラズマCVD窒化シリコン薄膜のGaAs集積回路への応用に関する研究

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プラズマCVD窒化シリコン薄膜のGaAs集積回路への応用に関する研究

Call No. (NDL)
UT51-59-F584
Bibliographic ID of National Diet Library
000000199397
Material type
博士論文
Author
石井康信 [著]
Publisher
-
Publication date
-
Material Format
Paper
Capacity, size, etc.
-
Name of awarding university/degree
大阪大学,工学博士
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博士論文

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Paper Digital

Material Type
博士論文
Title
プラズマCVD窒化シリコン薄膜のGaAs集積回路への応用に関する研究
Title Transcription
プラズマ CVD チッカ シリコン ハクマク ノ GaAs シュウセキ カイロ エノ オウヨウ ニ カンスル ケンキュウ
Author/Editor
石井康信 [著]
Author Heading
石井, 康信 イシイ, ヤスノブ
Extent
冊
Degree grantor/type
大阪大学
Date Granted
昭和59年2月27日
Date Granted (W3CDTF)
1984
Dissertation Number
乙第3312号