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Bibliographic Record
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- Material Type
- 博士論文
- Title Transcription
- ハンドウタイ ノ プラズマ エッチング ニ オケル ハンノウ キコウ
- Author/Editor
- 早坂伸夫 [著]
- Author Heading
- 早坂, 伸夫 ハヤサカ, ノブオ
- Extent
- 冊
- Degree grantor/type
- 東北大学
- Date Granted
- 昭和59年3月27日
- Date Granted (W3CDTF)
- 1984
- Dissertation Number
- 甲第3313号