シリコンの結晶成長に関する研究 : プラズマ分解法によるSOI構造の形成

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Material Type: 博士論文
Title: シリコンの結晶成長に関する研究 : プラズマ分解法によるSOI構造の形成
Title Transcription: シリコンノケッショウセイチョウニカンスルケンキュウ : プラズマブンカイホウニヨル SOI コウゾウノケイセイ
Author/Editor: 高井裕司 [著]
Author Heading: 高井, 裕司タカイ, ヒロジ
Extent: 冊
Degree grantor/type: 早稲田大学
Date Granted: 昭和59年3月7日
Date Granted (W3CDTF): 1984
Dissertation Number: 甲第624号
Degree Type: 工学博士
Note (Dissertation): 博士論文
Place of Publication (Country Code): JP
NDLC: UT51
UT31
Note (General): 博士論文
Holding library: 国立国会図書館
Call No.: UT51-59-E365
Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
https://ndlsearch.ndl.go.jp
Bibliographic ID (NDL): 000000205889
http://id.ndl.go.jp/bib/000000205889
Bibliographic Record Category (NDL): 213