Search by Bookstore
Search by Bookstore
Bibliographic Record
You can check the details of this material, its authority (keywords that refer to materials on the same subject, author's name, etc.), etc.
- Material Type
- 博士論文
- Title Transcription
- ハンドウタイ シュウセキ カイロ セイサク ノ タメ ノ ビサイ カコウヨウ マイクロ レジスト ザイリョウ ノ ケンキュウ
- Author/Editor
- 中根久 [著]
- Author Heading
- 中根, 久 ナカネ, ヒサシ
- Extent
- 冊
- Degree grantor/type
- 東京大学
- Date Granted
- 昭和58年12月15日
- Date Granted (W3CDTF)
- 1983
- Dissertation Number
- 乙第6688号